半導體行業(yè)為什么離不開(kāi)超純水設備?半導體行業(yè)的發(fā)展程度是衡量一個(gè)國家科技發(fā)展水平的核心指標。發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè),必然少不了電子芯片的生產(chǎn)制造。制造芯片的過(guò)程十分復雜,關(guān)鍵的步驟是沉積、光刻膠涂覆、刻蝕、離子注入和封裝。而這些步驟都離不開(kāi)超純水,因為芯片生產(chǎn)過(guò)程需要超純水進(jìn)行清洗。
芯片生產(chǎn)過(guò)程中需要用的工藝清洗用水,得用幾近絕緣的水質(zhì),被稱(chēng)作超純水,出水電阻率達到18Ω .cm左右。除電阻率,半導體生產(chǎn)用水對如微粒子、 TOC、溶解氧等指標也會(huì )有相應要求。那么指標要求這么高的超純水是如何制備出來(lái)的呢?自然界中不存在超純水,要制備這種超純水,就需要將自然水通過(guò)合適工藝處理而成。
半導體超純水設備并不只是一種固定工藝系統,而是很多水處理工藝模塊的靈活組合~包括預處理過(guò)濾部分、RO反滲透技術(shù)、EDI連續電解除鹽技術(shù)和拋光混床工藝等。
工藝流程主要包括:
水源進(jìn)水 —— 原水儲水箱 —— 多介質(zhì)過(guò)濾器 —— 活性炭過(guò)濾器 —— 阻垢裝置 —— 5 微米精密過(guò) 濾器 —— 雙級反滲透純水機組 —— 反滲透產(chǎn)水儲水箱 —— EDI 超純水制水 機組 —— 超純水產(chǎn)水儲水箱
(可根據行業(yè)生產(chǎn)要求,還會(huì )配置拋光混床,中間水箱等,根據客戶(hù)需求來(lái)定制方案)
【本文標簽】 超純水設備 河南超純水設備廠(chǎng)家
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